無油螺桿真空泵在行業發展和應用
2020-08-15

     無油螺桿真空泵是使用一對螺絲,在主腔內同步高速反向旋轉的抽氣設備的空氣吸入和排氣動作,兩個螺桿通過精細的動態平衡校正,由軸承支撐,安裝在空腔內,螺釘與螺釘之間有一定間隙,因此真空泵在工作時有一定間隙,彼此無摩擦,操作順暢,噪音低,工作腔內無潤滑劑,因此,無油螺真空泵可去除含有水蒸氣和灰塵等固體顆粒的氣體,限真空度高,消耗功率較低。具有節能、易于維護等優點。

     目前,各種真空泵的發展越來越受到真空應用的影響,一般真空系統已不能滿足清潔無腐蝕的要求,大量無油真空系統已被清洗無油真空系統所取代,品牌真空設備制造商已開發出各種不同類型的無油真空泵產品。

     無油螺桿真空泵是90年代初理想的泵種,其泵送范圍廣,結構簡單緊湊,泵腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油污等優點得到廣泛應用,并逐漸成為微電子、半導體、制藥、精密加工等行業優先選擇的真空接入設備。日本在螺桿壓縮機的基礎上,早期研制出真空泵多頭轉子線,并投入市場。幾家德國真空設備公司也逐步開發出同感、可變螺距轉子型線,并在轉子和車身冷卻方面做了大量研究。

無油螺桿真空泵的應用范圍很廣,例如:

1. 在低壓化學氣相沉積的多晶硅制備過程中。

2、半導體蝕刻、CVD、PVD工藝。在這些生產過程中,經常使用或產生腐蝕性氣體和磨削顆粒。

3、除半導體工藝外,一些產生顆粒的過程,不希望顆?;烊氡糜椭?,而是希望顆粒出泵。

4、在化工、制藥、食品工業蒸餾、干燥、消泡、包裝等,防止有機溶劑造成污染,適合使用無油真空泵。

5、做好前泵一般無油清洗真空系統,防止油污。


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