真空泵在真空泵系統中的作用
2021-11-20

     因為各種真空泵體系的性能除均能滿足對容器進行抽真空的共同點之外,尚具有不同之處。因此在選用時必須清晰泵在真空泵體系中所承擔的作業任務是十分重要的,泵在各種不同作業范疇中所起的作用歸納起來主要有如下幾個方面。

1、在體系中做主泵

所謂主泵便是對真空泵體系被抽容器直接進行抽真空,以獲得滿意工藝要求所需真空度的真空泵。


2、粗抽泵


粗抽泵是指從大氣壓開端下降真空體系壓強達到另一抽氣體系可以開端作業的真空泵。

3、前級泵

前級泵是指用于使另一個泵的前級壓強保持在其最高許可的前級壓強以下的真空泵。

4、保持泵

保持泵是指當真空體系抽氣很小時,不能有效的利用首要前級泵。為此,在真空體系中另配一種抽氣速度較小的輔佐前級泵來保持主泵的正常作業或保持已抽空的容器所需的低壓的真空泵。

5、粗真空泵或低真空泵

粗、低真空泵是指從大氣開端,下降被抽容器的壓強后作業在低真空或粗真空壓強規模內的真空泵。

6、高真空泵

高真空泵是指在高真空規模作業的真空泵。

7、超高真空泵


超高真空泵是指在超高真空規模作業的真空泵。


8、增壓泵


增壓泵通常指作業在低真空泵和高真空泵之間,用以進步抽氣體系在中心壓強規模的抽氣量或下降前級泵抽氣速率要求的真空泵。

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